電子顕微鏡を用いた価電子（結合電子）状態分析技術の開発
東北大学多元物質科学研究所先端計測開発センター
要旨：電子顕微鏡用の軟X線分光器開発の開発経緯および現状に関し報告した．これまで開発してきた分光器が，基本で60–1200 eV，拡張タイプで60–2300 eVであったのに対し，現在開発中の分光器においては50–4000 eVの測定範囲を目指している．また，この装置による金属LiからのLi-K発光スペクトル測定にも成功した．また，以前作製した高分解能タイプの分光器で測定した六方晶BNから得たN-K発光スペクトルの異方性計測から，π結合軌道およびσ結合軌道からの発光強度分布（π結合軌道およびσ結合軌道の状態密度分布に比例する）を求め，バンド計算の結果とよい一致をしていることを確認した．
キーワード：軟X線発光分光法，価電子状態，電子顕微鏡