大気圧走査電子顕微鏡ASEMによる液体・気体中での動的観察

須賀三雄^a，西山英利^a，小入羽祐治^a，渡部善幸^b，岩松新之輔^b，佐藤主税^c

^a日本電子（株）クレアプロジェクト
^b山形県工業技術センター電子情報技術部
^c産業技術総合研究所バイオメディカル研究部門

要旨：大気に開放された試料室を有する大気圧走査電子顕微鏡（ASEM）を開発してきた．この顕微鏡を用いて，液体や気体中の材料系試料の動態を観察した．液体中での微粒子のブラウン運動と自己組織化，溶液の乾燥に伴う塩の樹枝状析出，電解液中における電気化学反応，および，はんだの融解・凝固など様々な動的プロセスの観察に成功した．ASEMは，液体・気体中での多様な動的現象の観察に用いられることが期待される．

キーワード：ASEM，大気圧，動的観察，環境セル，薄膜

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