イオンビームシリアルミリング法の生物系試料への応用
日本エフイー・アイ株式会社 ナノポートジャパン
要旨：FIB/SEM装置は，材料系分野で重要な装置として知られている．FIB/SEM装置を使ったイオンビームによるシリアルミリング法は，スライス断面の作製／断面観察というサイクルを繰り返すことで得られる二次元の断面観察像群をコンピュータで三次元再構築させる手法である．シリアルセクショニング法の1種として材料系試料で発展した手法であるが，近年生物系試料にも適用する事例が増えてきた．本稿では当手法の詳細について紹介する．
キーワード：集束イオンビーム，SEM，シリアルセクショニング，iSR，生物系