| 表紙説明：インレンズFE-SEMに組み込める小型走査型プローブ顕微鏡（ペンシル型SPM）を開発．Si基板上Pd粒子にPt-Ir探針を接近させたときのSEM像．粒子の押しつぶし，移動，電気測定も可能．Bar=3μm（上），1μm（下）． |
～多様な材料系の研究ニーズに対応する
SPM物性計測の最先端～
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特集：SPMのフロンティア ～多様な材料系の研究ニーズに対応する SPM物性計測の最先端～ |