STEMによる結晶構造観察
物質・材料研究機構
要旨：走査透過電子顕微鏡による環状暗視野像は，結晶構造を直視的に観察できることから近年広く用いられている．本稿では環状暗視野像や明視野像を使って，高感度あるいは高精度に結晶構造を観察した結果を示す．構造直視性の基本となるincoherent imaging近似について，その近似を利用した解析例を示すとともに，近似の限界についても述べる．加えて電子回折図形を2次元マッピングする手法についても最近の結果を紹介する．
キーワード：走査透過電子顕微鏡，環状暗視野像，明視野像，高分解能観察，incoherent imaging近似