スピン偏極走査電子顕微鏡（スピンSEM）
（株）日立製作所中央研究所
要旨：スピン偏極電子技術を発展させてきた重要な要素のひとつが，スピン検出器の開発である．その検出技術を走査電子顕微鏡に取り入れ2次電子のスピン偏極度を解析し，磁区観察を可能にした装置がスピン偏極走査電子顕微鏡（スピンSEM）である．この技術は開発されて30年近く経つが，現在でもその性能向上は続いており，他の磁区観察顕微鏡にはない特長を活かし，磁性体の基礎的な物性解明を目的とした学術的な研究のみならず，磁気記録デバイスや永久磁石材料等の評価，解析にも用いられている．本稿ではスピンSEMの原理，特に最大の特徴であるスピン偏極度検出に関して述べた後，スピンSEMを用いたHDD記録媒体観察，並びに最近我々が搭載した試料加熱機構を用いたCo単結晶の500°Cまでの磁区観察例を紹介する．
キーワード：磁区，スピンSEM，スピン偏極，試料加熱機構