モノクロメータ付き200 kV原子分解能分析電子顕微鏡

向井雅貴^ａ，奥西栄治^ａ，芦野公紀^ａ，応本和也^ａ，福田知久^ａ，池田昭浩^ａ，染原一仁^ａ，金山俊克^ａ，齋藤智浩^ｂ，平山司^ｂ，幾原雄一^ｂ,ｃ

^ａ日本電子株式会社
^ｂファインセラミックスセンターナノ構造研究所
^ｃ東京大学総合研究機構

要旨：物質の原子レベルでの電子状態の詳細を明らかにするため，ダブルウィーンフィルタ型のモノクロメータ付き200 kV原子分解能分析電子顕微鏡を開発した．このモノクロメータにより，単色化された等方的な電子プローブを得る事ができた．0.1秒露光での最高エネルギー分解能は200 kVで36 meV，60 kVで30 meVを得た．EELSマッピングを行った結果，原子スケールの空間分解能と高エネルギー分解能を両立した分析性能が示された．

キーワード：モノクロメータ，高分解能EELS，高分解能STEM，原子分解能EELSマッピング

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