顕微鏡 第48巻▶第2号 2013
■特別記事

走査電子顕微鏡活用の現状課題と将来展望

稲里幸子a,b,乙部博英a,c,山下美香a,d,米光恭子a,e,渡邉俊哉a,f,許斐麻美a,f,久芳聡子a,g,柴田昌照a,g,森谷久雄a,h,佐藤眞美子a,i,新藤恵美a,j,村井則子a,k

走査電子顕微鏡分科会,パナソニック(株),旭化成ケミカルズ(株),(株)コーセー,一般財団法人材料科学技術振興財団,(株)日立ハイテクノロジーズ,日本電子(株),帝人(株),日本女子大学,東京都市大学,埼玉医科大学

要旨:本分科会ではSEMに要求されるニーズを調査し,3~5年後で必要とされるSEM技術のロードマップ(将来展望)を作成した.ここでは,そのロードマップで明らかとなった次世代SEMと試料前処理の将来像の展望について紹介する.

キーワード:SEM,ロードマップ,将来展望

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