走査電子顕微鏡活用の現状課題と将来展望

稲里幸子^ａ,ｂ，乙部博英^ａ,ｃ，山下美香^ａ,ｄ，米光恭子^ａ,ｅ，渡邉俊哉^ａ,ｆ，許斐麻美^ａ,ｆ，久芳聡子^ａ,ｇ，柴田昌照^ａ,ｇ，森谷久雄^ａ,ｈ，佐藤眞美子^ａ,ｉ，新藤恵美^ａ,ｊ，村井則子^ａ,ｋ

^ａ走査電子顕微鏡分科会，^ｂパナソニック（株），^ｃ旭化成ケミカルズ（株），^ｄ（株）コーセー，^ｅ一般財団法人材料科学技術振興財団，^ｆ（株）日立ハイテクノロジーズ，^ｇ日本電子（株），^ｈ帝人（株），^ｉ日本女子大学，^ｊ東京都市大学，^ｋ埼玉医科大学

要旨：本分科会ではSEMに要求されるニーズを調査し，3～5年後で必要とされるSEM技術のロードマップ（将来展望）を作成した．ここでは，そのロードマップで明らかとなった次世代SEMと試料前処理の将来像の展望について紹介する．

キーワード：SEM，ロードマップ，将来展望

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