転位組織解析のためのSEM-ECCI法の応用
新日鐵住金株式会社 先端技術研究所
要旨：走査電子顕微鏡の反射電子像により，変形で導入された転位などの結晶欠陥に対し，条件が揃えば透過電子顕微鏡と同様な単一転位像が得られる．電子チャンネリング効果を利用したこれらの転位観察の簡単な技術的発展の経緯，また非弾性散乱波の挙動に基づくコントラスト解釈の現状，さらには電子線の試料への入射条件の制御の重要性などを解説し，今後のSEMの新しい利用法の一つとして発展することを期待する．
キーワード：SEM，ECCI，反射電子，転位，鉄鋼材料