FIB-SEMシリアルセクショニングによる材料組織の三次元観察

原徹

独立行政法人物質・材料研究機構

要旨：FIB-SEMでのシリアルセクショニングによる組織の三次元的観察について，主にハードウェアの観点から，手法とクオリティを決める因子について概説する．この観察に適したFIBとSEMの配置を持つ装置の紹介と，それにより得られたデータをもとに，より高い精度でより多くの情報を持つ観察に向けた基礎的な方針を考察する．

キーワード：FIB-SEM直交配置，コントラスト，空間分解能，鉄鋼材料

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