STEMの走査線と結晶格子によるモアレ縞による歪の計測
日本電子株式会社EM事業ユニット
要旨：STEMでのモアレ縞を利用した結晶歪の計測を報告する．STEMモアレ縞は格子縞の同程度の間隔の走査線によるアンダーサンプリング効果で生成する．モアレの間隔は格子と走査線の間隔の比と方向によって決まる．このモアレ縞を用いることによりSiの格子歪の分布を定量的に測定できた．STEM像取得中の試料ドリフトを補正し，複数枚の歪マップの平均によって，計測精度はσ=0.2％程度まで高めることができた．
キーワード：モアレ，走査透過顕微鏡，歪，位相解析，歪素子