スピン偏極走査電子顕微鏡（スピンSEM）による磁区観察

孝橋照生^ａ，松山秀生^ｂ

^ａ（株）日立製作所研究開発グループ
^ｂ北海道大学大学院理学研究院物理学部門

要旨：2次電子のスピン偏極度を信号とする数nmレベルの高分解能磁区観察技術として，スピン偏極走査電子顕微鏡（スピンSEM）が知られている．3次元的な磁化方向解析機能を有することや，表面平滑性や厚さ等の試料形状に対する制約が緩いこと等，独自の特長を活かして，スピンSEMは基礎的な磁性研究や磁気デバイスの評価等，様々な研究分野で使われてきた．本稿ではスピンSEMの原理や構造に関して簡単に紹介し，さらにNdFeB焼結体磁石の粒界相磁性評価等，最近のスピンSEMデータを含めていくつか観察例を紹介する．

キーワード：磁区，スピン偏極，2次電子，NdFeB

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