ピクセル型STEM検出器の開発とその応用

佐川隆亮^ａ，染原一仁^ａ，福田知久^ａ，齊藤隆光^ａ，橋口裕樹^ａ，佐々木宏和^ｂ，近藤行人^ａ

^ａ日本電子株式会社
^ｂ古河電気工業株式会社

要旨：走査透過電子顕微鏡（STEM）において，試料の各電子プローブ位置の回折パターンを2次元画像として記録する検出器をピクセル型STEM検出器と呼ぶ．この検出器は通常のSTEM検出器と異なり試料の回折面上の試料情報を捉えることが出来る為，このデータを処理することで様々なSTEM像を得ることができる．本稿では，我々のグループで開発されたピクセル型STEM検出器のハードウェアと応用データを紹介する．

キーワード：ピクセル型STEM検出器，タイコグラフィー，電場マップ，磁場マップ，位相像