顕微鏡 第48巻▶第2号 2013
■最近の研究と技術

モノクロメータ付き200 kV原子分解能分析電子顕微鏡

向井雅貴,奥西栄治,芦野公紀,応本和也,福田知久,池田昭浩,染原一仁,金山俊克,齋藤智浩,平山司,幾原雄一b,c

日本電子株式会社
ファインセラミックスセンターナノ構造研究所
東京大学総合研究機構

要旨:物質の原子レベルでの電子状態の詳細を明らかにするため,ダブルウィーンフィルタ型のモノクロメータ付き200 kV原子分解能分析電子顕微鏡を開発した.このモノクロメータにより,単色化された等方的な電子プローブを得る事ができた.0.1秒露光での最高エネルギー分解能は200 kVで36 meV,60 kVで30 meVを得た.EELSマッピングを行った結果,原子スケールの空間分解能と高エネルギー分解能を両立した分析性能が示された.

キーワード:モノクロメータ,高分解能EELS,高分解能STEM,原子分解能EELSマッピング

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