収差補正器を搭載したSTEMによる原子分解能二次電子像観察
（株）日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部
要旨：近年の収差補正技術の発展とそれに伴う高分解能化により，サブナノメートル領域の像観察，分析が多用されてきている．我々は収差補正器を搭載した電子顕微鏡の応用分野の一つとして二次電子による原子分解能像観察について研究を行った．結果，薄いカーボン薄膜上に散在したウラン微結晶と単原子からの信号を二次電子検出器で結像することができた．重いウラン原子だけでなく原子番号の小さい試料の原子カラム像も得られた．
キーワード：原子分解能二次電子像，単原子，収差補正，走査透過型電子顕微鏡，走査型電子顕微鏡