このたび2019年度SEMの物理学分科会研究会を下記の要領で開催致します。
皆様のご参加をお待ちしております。
テーマ:「SEMの中で何が起きているのか?(2) 〜検出器の視覚〜」
近年の走査電子顕微鏡(SEM)がもたらす多様な像情報を正しく理解するためには、
試料内での電子散乱の物理に加え、電子光学系・検出系といった装置も含めた議論が必要である。
本研究会では前回に引き続き「SEMの中で何が起きているのか?(2)」をテーマに、信号電子検出器を特集したい。
研究会前半では特性の異なる検出器を駆使した材料研究や、検出器の像形成への寄与についてご講演いただく。
後半はハードウェアの視点から検出器について議論したい。検出器・検出系の概論に続き、
その応用例であるイマージョンレンズ光学系中の検出器についてご講演いただく。
・複数検出器を併用した合金組織の多元的SEM解析 赤嶺 大志(九州大学)
・観察条件に依存したSEMコントラスト 加藤 大樹(日本電子)
・SEMの検出器・検出系の概論 揚村 寿英(日立ハイテクノロジーズ)
・Principles of signal electron detection in immersion electron columns
Dr. Petr Wandrol (Thermo Fisher Scientific)
期 日:2019年5月31日(金)13時半〜17時半
会 場:産業技術総合研究所 臨海副都心センター別館11F 会議室1
参 加 費:無料
定 員:100 名
申込方法:以下の必要事項をご記入の上、メールにてお申し込みください。
(1) 氏名
(2) 所属
(3) 顕微鏡学会 会員/非会員の別
[宛 先] 産総研 熊谷 e-mail: quaz.kumagai@aist.go.jp
[申込期限] 2019年5月29日(水)(定員になり次第締め切ります)
代表世話人 熊谷和博
産業技術総合研究所
〒305-8565 茨城県つくば市東1-1-1 中央第5事業所
e-mail: quaz.kumagai@aist.go.jp