テーマ：「SEMの中で何が起きているのか？～信号電子の振舞い～」
走査電子顕微鏡(SEM)では近年、その電子光学系・検出系の進歩により、多様な像情報が得られるようになってきました。
しかし、像形成の理解にはその物理現象に立ち戻った議論が必要となります。
そこで本研究会では「SEMの中で何が起きているのか？」と題して，信号電子の振舞いを議論したいと思います。
表面分析研究会(SASJ)との連携講演では電子散乱の基礎、SEM像を理解するための二次電子スペクトルの解釈を取り上げます。
つづいて試料内・試料室内での電子の挙動、さらに、試料電流を応用した走査電子誘電率顕微鏡についてご講演いただきます。
固体表面からの二次電子放出の基礎 永富 隆清（旭化成）
低エネルギー励起二次電子スペクトルの解釈 橋本 哲（JFEテクノリサーチ）
試料帯電・損傷シミュレーション 安田 雅昭（大阪府立大）
試料室内散乱電子の解析 小寺 正敏（大阪工業大）
走査電子誘電率顕微鏡 小椋 俊彦、岡田 知子（産総研）
期 日：2018年12月13日（木）13時〜17時半
会 場：産業技術総合研究所 臨海副都心センター別館11F 会議室1
参加費：無料
定 員：100 名
申込方法：以下の必要事項をご記入の上、メールにてお申し込みください。
(1) 氏名
(2) 所属
(3) 顕微鏡学会 会員／非会員の別
[宛先]産総研 熊谷 e-mail: quaz.kumagai@aist.go.jp
[申込期限] 2018年12月11日（火）（定員になり次第締め切ります）
詳細はこちらをご覧ください。
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日本顕微鏡学会 SEMの物理学分科会
代表世話人 熊谷和博
産業技術総合研究所
〒305-8565 茨城県つくば市東1-1-1 中央第5事業所
e-mail: quaz.kumagai@aist.go.jp