電子光学設計技術分科会 第8回研究会開催案内

電子光学設計技術分科会 第8回研究会
「小型SEM電子光学系とその先」

この度の研究会では成熟したとみられる「小型SEM」を取り上げ、光学系を再検証し、
将来の高分解能化・高機能化の可能性を議論します。皆様のご参加、ご議論をお待ちしております。

日  時:2021年11月19日(金)  13:00~16:10
場  所:リモート開催
定  員:50名
参 加 費:無料
参加登録:Eメール:rnishi@uhvem.osaka-u.ac.jp(開催担当:西竜治) へお知らせ下さい。
締  切:2021年11月12日(金)(定員50名.定員に達し次第締切ります)

■第8回研究会プログラム
開会あいさつ (13:00-13:05)
【1】(13:05-13:45) 基調講演 ミニチュア・コラムの発展と今後の展開
             三好 元介((元)東京大学先端科学技術研究センター)
【2】(13:45-14:25) (仮)日立グループの小型化技術の紹介
             大嶋 卓((株)日立製作所 研究開発グループ)、
             大南 祐介、二村 和孝((株)日立ハイテク)
     (休憩)
【3】(14:35-15:15) (仮)卓上型SEM “Phenon”のコンセプトと光学系
             村田 薫(サーモフィッシャーサイエンティフィックグループ
                  日本エフイー・アイ株式会社 マテリアルサイエンス部門)
【4】(15:15-15:55) 誰でも微細観察と元素分析ができる卓上走査電子顕微鏡NeoScopeの紹介
             片桐 慎一(日本電子株式会社 MP技術本 システム開発部)
総合討論 (15:55-16:10)