走査電子顕微鏡(SEM)がもたらす多様な像情報を理解するため,本分科会では試料内での電子散乱の物理に加え,
装置も含めた「SEMの物理」の議論をすすめてきたが,昨今,コロナ禍により議論を交わす機会が著しく減少している.
そこで今年度はオンライン形式で研究会を開催し,SEMの物理に関する議論を再加速させる場としたい.
研究会前半ではSEMの像形成原理や,それを応用した材料分析について議論し,後半ではSEMの要素・周辺技術の
進展についてご講演をいただく.
プログラム
・SEM像コントラストに及ぼす結晶極性の影響 桑野 範之(九州大学)
・低加速電圧SEM-EDXによる材料表面・微小部の像観察と元素分析 名越 正泰(JFEテクノリサーチ)
・絶縁体の低真空SEM観察/二次電子の振舞いと雰囲気依存性 田上 就也(筑波大学)
・巻線収差補正器によるSEM像における球面収差補正の実証 中野 朝則(日立製作所)
・SEMコントラストと機械学習を活用した鉄鋼材料の複合組織解析 井本 浩史(JFEテクノリサーチ)
日 時:2020年11月13日(金)13:30〜16:20
会 場:オンライン開催(Microsoft Teams)
参加費:無料
定 員:200 名
申込方法:申込みフォームよりお申し込みください.(詳細にもリンクがあります)
申込期限:2010年11月10日(火)(定員になり次第締め切ります)
詳細はこちら
日本顕微鏡学会 SEMの物理学分科会
代表世話人 熊谷 和博
産業技術総合研究所
e-mail: quaz.kumagai[at]aist.go.jp([at]を@に変更してください)