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技術功労賞授賞者および題名一覧
第28回（2023年度）
伊野家浩司「① 透過電子顕微鏡用デジタルカメラ② 電子線損失分光分析装置（EELS）上記技術の応用と普及」
近藤 俊三「小・中・高校生への理科教育支援出張授業による電子顕微鏡技術の普及および教育」
第27回（2022年度）
大西 毅 「FIBマイクロサンプリング技術及びそれを用いた局所部位TEM解析技術の開発と普及」
第26回（2021年度）
該当なし
第25回（2020年度）
伊藤 喜子 「ウルトラミクロトームによる試料作製技法の応用と普及」
幸喜 富 「電子顕微鏡生物試料作製技術の普及及びデジタル撮影法に関する基礎技法の確立」
第24回（2019年度）
該当なし
第23回（2018年度）
青山 一弘 「クライオ電子線STEMトモグラフィーによる厚い切片の高分解能解析」
第22回（2017年度）
朝山 匡一郎 「半導体解析への電子顕微鏡技術の応用と普及」
第21回（2016年度）
山田 博之 「結核菌の電顕解析における応用技術開発と普及」
大久保 賢二 「各種電子顕微鏡試料作成から組織観察・分析に至る一貫した技術・教育普及」
第20回（2015年度）
装置・理論部門：砂子沢 成人 「走査透過電子顕微鏡の開発と先端材料解析分野への普及」
生物系応用研究部門：植松 勝之 「深海生物への電子顕微鏡技術の応用、ならびに若手研究者・技術者への啓蒙活動」
生物系応用研究部門：横山 満 「電子顕微鏡試料作成技術の教育並びに技術の普及」
第19回（2014年度）
該当なし
第18回（2013年度）
該当なし
第17回（2012年度）
該当なし
第16回（2011年度）
装置・理論部門：大崎 光明 超高圧電子顕微鏡の開発
生物系応用研究部門：勝又 修 免疫電子顕微鏡試料作製技術の開発及び普及
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第15回（2010年度）
荒井重勇 超高圧電子顕微鏡を用いたその場観察に関する技術開発とその応用研究
富田 健 電子顕微鏡の照射系の開発
山口正視 電子顕微鏡試料作製技術の開発と普及
第14回（2009年度）
立花利公 研究者・技術者への電子顕微鏡生物試料作製技術の普及並びに教育
第13回（2008年度）
富田正弘 透過型電子顕微鏡の高性能化技術開発
江原友子 電子顕微鏡連続超薄切片技法の改良・開発
長利 勉 鉄鋼材料ＴＥＭ試料作製法の改良・開発
第12回（2007年度）
小野昭成 超高分解能 SEMの開発と応用技術の普及
第11回（2006年度）
松田 強 高干渉性電界放出電子顕微鏡の開発ならびにその応用研究
森田千明 超高圧電子顕微鏡用電界放出電子銃開発に関する基礎研究
平坂雅男 高分子基板記録材料における電顕観察技術の開発および普及
第10回（2005年度）
菅原健治 超高圧電子顕微鏡周辺技術の開発と技術支援
倉嶋敬次「ナノ物質の分析電子顕微鏡観察技術」
第９回（2004年度）
鈴木猛夫 走査電子顕微鏡用寸法標準試料の開発とその応用
第８回（2003年度）
井上雅夫 磁性体の磁区構造観察装置の開発およびその技術の啓蒙と指導
真鍋武志 電子顕微鏡技術の向上と周辺技術の開発
第７回（2002年度）
松井 功 電界放出型・超高圧電子顕微鏡に関する技術開発
代田畊平 超高分解能電子顕微鏡の実用化に関わる技術開発
吉濱 勲 生物試料の電顕観察用試料作製技術の開発と応用
田口英次 金属試料の電顕観察用試料作製技術の開発と応用
第６回（2001年度）
北 重夫 電子顕微鏡試料作製技術及びその器具の開発と改良
五十嵐芳夫 鉄鋼材料の微細組織観察技術の開発とその応用
第５回（2000年度）
田中えい士 材料の微細組織観察技術の開発、初心者の教育、技術向上
坂田孝夫 電子顕微鏡用試料処理技術の開発とその応用
第４回（1999年度）
森口作美 超高圧電子顕微鏡の高分解能化に関する技術
石橋 武 ＦＥ－ＴＥＭの物質系研究への性能向上技術の開発
第３回（1998年度）
吉田 清和 超高電圧電顕の性能向上に関する諸装置の開発
小塚 芳道 研究者技術者の教育,技術の普及,並びに電顕等維持管理の国際的貢献
会田嵯武朗 試料作製技術の向上及び啓蒙と教育指導
第２回（1997年度）
上野武夫 高分解能観察用試料加熱ホルダーの開発と応用
近藤俊三 胎仔観察法を中心としたＳＥＭ試料作製法の開発
北見喜三 セラミックスの高分解能観察技術の開発
第１回（1996年度）
勝田禎浩 超高圧電子顕微鏡の技術開発
宮澤七郎 試料技術の開発,改良,技術者の教育,技術向上
小松正雄 超高圧電子顕微鏡その場実験用試料処理装置の開発