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電子光学設計技術分科会 第8回研究会
「小型ＳＥＭ電子光学系とその先」
この度の研究会では成熟したとみられる「小型ＳＥＭ」を取り上げ、光学系を再検証し、
将来の高分解能化・高機能化の可能性を議論します。皆様のご参加、ご議論をお待ちしております。
日 時：2021年11月19日(金) 13:00～16:10
場 所：リモート開催
定 員：50名
参 加 費：無料
参加登録：Eメール：rnishi@uhvem.osaka-u.ac.jp(開催担当：西竜治) へお知らせ下さい。
締 切：2021年11月12日(金)（定員50名．定員に達し次第締切ります）
■第8回研究会プログラム
開会あいさつ (13:00-13:05)
【1】(13:05-13:45) 基調講演 ミニチュア・コラムの発展と今後の展開
三好 元介((元)東京大学先端科学技術研究センター)
【2】(13:45-14:25) (仮)日立グループの小型化技術の紹介
大嶋 卓(（株）日立製作所 研究開発グループ)、
大南 祐介、二村 和孝（（株）日立ハイテク）
(休憩)
【3】(14:35-15:15) (仮)卓上型SEM “Phenon”のコンセプトと光学系
村田 薫（サーモフィッシャーサイエンティフィックグループ
日本エフイー・アイ株式会社 マテリアルサイエンス部門）
【4】(15:15-15:55) 誰でも微細観察と元素分析ができる卓上走査電子顕微鏡NeoScopeの紹介
片桐 慎一（日本電子株式会社 ＭＰ技術本 システム開発部）
総合討論 (15:55-16:10)
