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日本顕微鏡学会・電子顕微鏡解析技術分科会では、機能性材料や電子デバイスの評価に関する身近な疑問点を
ざっくばらんに話し合う場として<電子顕微鏡解析技術フォーラム>を開催しております。
今年度は昨年度と同様、新型コロナ感染拡大防止対策として、オンラインで開催します。 今回のテーマは
「全ての結果は試料作製が握っている！TEM試料作製方法の古典から最新まで！」と題し、電子顕微鏡観察で
材料や現象の真の姿を捉えるために最も重要な技術となる試料作製法を取り上げます。
代表的な電子顕微鏡観察試料作製法として、FIB法(Ga, Xe-Plasma)、Arイオンミリング法、電解研磨法を取り上げ、
各分野のエキスパートの方々より、基本原理から実際の適用事例、ダメージやアーティファクト等の問題点と対策等
についてご講演頂きます。
講演内容に関して、参加者の皆様からの質問をいただきながら、活発な議論を交わして、日頃の電顕業務の問題解決の
糸口が得られる場となれば幸いです。
電子顕微鏡に携わる皆様、ふるってご参加ください！
記
1．主 催：公益社団法人 日本顕微鏡学会・電子顕微鏡解析技術分科会
2．日 時：2021年8月24日（火）13:00 ～ 17:00（予定）
開催形式：オンライン開催（web会議システムTeams）
参加費： 無料
3．定 員：150名
4．申し込み期間：申し込み期間：定員に達しましたので、申込を締め切りました。
問い合わせ先： 日鉄テクノロジー（株） 水尾 有里
e-mail:mizuo.yuri.8dg@nstec.nipponsteel.com
電 話： 0439-80-2866 ファクシミリ：0439-80-2733
HP : http://www.em-forum.sakura.ne.jp/
5．プログラム
【チュートリアル】
・FIBの基礎 －観察から薄膜作製まで－ 渡邉 慶太郎（日立ハイテク）
【トピックス】
・プラズマイオンFIBによる高品質TEM試料作製 村田 薫（サーモフィッシャーサイエンティフィック）
・Arイオンを用いたBIB法とTEM/SEM試料作製 佐々木 義和（日本電子）
・電子顕微鏡観察試料作製のための電解研磨法 ～基礎から実践まで～ 宮澤 知孝（東京工業大学）
公益社団法人 日本顕微鏡学会・電子顕微鏡解析技術分科会
責任者 丸山 秀夫
実行委員長 遠藤 徳明
