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FIB技術先進システム分科会 第1回研究会
『FIB加工で作製するTEM試料の品質と新分科会の設立』
主催：日本顕微鏡学会 FIB技術先進システム分科会
■日程：2026年7月2日（木曜日）
■会場：エッサム神田2号館 301会議室
https://www.essam.co.jp/hall/kaijo/room/2-301.html
■参加費；3,000 円（会員），6,000 円（個人として非会員）
■参加登録：下記Formsからオンライン登録をお願い致します。
参加登録
Formsのご利用が不能な方は、参加申し込みフォーム（Wordファイル）に
ご記入頂き、Wordファイル最後に記載のメールアドレスまでお送りください。
■第1回研究会プログラム
【受付】 12:30～13:00 エッサム神田２号館３階 301会議室入口付近
【座長】原 徹（NIMS）
13:00～13:15 FIB研究部会からFIB分科会として目指す新展開（新幹事の紹介含む）
大阪大学 杉山 昌章
13:15～13:45 金属からセラミックス材料へTEM試料調製の視点からみたFIB技術
JFCC 加藤 丈晴
14:45～14:15 半導体Siのダメージ層評価のRRT結果と金属に導入される格子欠陥
日本製鉄（株）先端技術研究所 網野 岳文
14:15～15:45 収束電子回折法を用いた半導体Si深部における結晶性低下層の評価
東北大学 多元物質科学研究所 森川 大輔
14:45～15:00 休 憩 （with Coffee Pot Service）
【座長】金子賢治（九州大学）
15:00～15:30 化合物半導体やデバイス界面のFIB加工ダメージ層と除去技術
古河電工（株）解析技術センター 佐々木 宏和
15:30～16:00 炭素質地球外物質試料加工へのFIB技術の応用と課題
東北大学 理学研究科 松本 恵
16:00～16:25 FIB―SEM装置のイオンビームアライメント評価方法検討とRRTの推進
日本電子（株） 野久尾 毅
16:25～16:30 休 憩
【座長】加藤 丈晴（JFCC）
16:30～17:00 ＜幹事企業枠：サーモフィッシャーサイエンティフィック＞
断面作製だけに留まらない！FIB/SEM複合機の現状と最新アプリケーション紹介
サーモフィッシャーサイエンティフィック 完山 正林
【意見交換会】
17:45～19:45 会場：KABEAT ＜神田駅から地下鉄移動。茅場町駅11番出口直結＞
アクセスはこちら
※神田会議室からの移動方法は当日受付で配布。
研究会終了後に意見交換会（6,000円）を予定しております。参加希望の方は、
「意見交換会にも参加します」を選んでください。
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